作为首批国家创新型县(市)、苏南唯一的省科技创新体制综合改革试点地区,常熟将坚持把科技创新作为强市之本,高位推动政策集成、资源统筹、区域创新,全力推动科技创新与先进制造深度融合,切实提高科技成果转化和产业化水平,带动产业攀“高”逐“新”。
苏州光舵微纳科技股份有限公司于2011年落户常熟先进制造业科技园。作为一家高新技术企业,公司致力于纳米压印设备、技术的研发及产业化应用,可为客户提供设备、工艺方案和生产技术支持。
该设备拥有国内柔性模板压印核心技术首创专利,实现了对光刻机的产业化替代,应用于LED细分行业PSS(蓝宝石图形化衬底)领域,生产产品产量较同类型设备翻番,良品率提高至90%以上,生产成本不断降低,国内市场占有率接近100%。自2020年投产以来,全自动纳米压印设备已在客户端量产PSS超4000万片。
该产线配备了匀胶、压印、刻蚀和半导体清洗等全套生产工艺,可有效地为客户提供工艺和技术服务支持,满足客户柔性化定制需求,第一时间为他们解决生产过程中遇到的问题。目前,该产线可年产硅片模板上万片。
光舵微纳科技不断加大研发力度,在设备及材料方面取得新突破,已推出研发型和量产型纳米压印设备,拥有均匀气动热压、紫外柔性模板自动压印、滚轮式紫外压印等多项核心技术,在LED-PSS行业的国内市场占有率接近100%。
该设备可在不小于6英寸基底上实现线宽小于100纳米、对准精度小于1微米的全自动高精度对准纳米压印量产制作,广泛应用于LED芯片、AR全息衍射光波导等半导体器件的微纳图形化制作,解决了纳米压印工艺实现高精度对准套刻量产化制作的难题。
未来,公司将朝向对准套刻压印技术、更高精度的对准技术、纳米级线宽集成电路的应用目标,争取有更好、更高质量的研发成果助力企业快速发展。
常熟将聚焦推动科技创新与先进制造深度融合这一核心主题,通过科技赋能“3+5+2”现代产业体系,推动产业向创新转型突围。
一方面,市科技局将持续推动创新主体提质扩面,加强“硬科技”项目招引,挖掘创新基础好、发展潜力大的科创型企业,通过构建创新联合体推动企业抱团发展,树立创新企业标杆。
另一方面,市科技局将强化平台载体赋能,支持企业建强、建优科研载体,加快推动规上工业企业研发载体全覆盖,让更多科研成果在常熟落地生花。