据官方数据，中国在芯片进口方面的花费已经连续两年超过原油，成为进口量第一的商品。日前，青山湖科技城与浙江启尔机电技术有限公司正式签约建设光刻机浸液系统项目，这是科技城承接的第二个国家科技重大专项相关项目，建设光刻机浸液系统产品研制与中试基地，旨在高端芯片上烙上“中国制造”。

　　光刻机是制备芯片的设备，每颗芯片诞生之初，都要经过光刻技术的锻造，而浸没式光刻机是现阶段用于芯片规模生产最先进的设备。浸液系统是浸没式光刻机四大核心部件之一。目前，国际上仅荷兰ASML和日本Nikon拥有浸液系统技术。

　　中国的芯片需求占全球市场份额的比重超过四成，但近九成需要进口，高端芯片依赖进口的程度更高，已成为全球第一大芯片消费地区。芯片产业的主导权掌握在跨国公司手中，这不仅卡住了诸多产业的咽喉，也使中国的商业机密和国防信息得不到保障。芯片产业是中国输不起的战争，因此国家在科技重大专项中进行芯片设计与制造装备的攻关，累计研发经费已达数百亿，产业基金投资额达2000亿元，预计总投资额将达到上万亿元规模。

　　浙江启尔机电技术有限公司主营研制、生产、销售光刻机浸液系统及其派生产品，直接面向芯片产业、高端制造装备产业。自2004年以来，所属研发团队在国家863计划、国家科技重大专项以及光刻机整机企业上海微电子公司研发项目的持续支持下，对光刻机浸液系统开展了十余年的基础研究和技术攻关，已承担相关研究项目10余项，获得授权发明专利100余项，其中与光刻机浸液系统直接相关的发明专利56项，是目前国内该领域技术积累最丰富的研发团队。

　　光刻机浸液系统项目计划用地25亩，建筑面积1.8万平方米，总投资5亿元。与前期入驻的中电海康磁旋存储芯片项目毗邻而建，在科技城形成关键设备制造、芯片研发生产两大集成电路产业项目龙头。青山湖科技城商务局相关负责人介绍，项目符合省、市的产业布局，并受到科技部、浙江省各级领导及行业内权威专家的高度关注，在科技创新、产业集聚、推进建设微纳小镇方面具有深远意义。