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普达特半导体设备OCTOPUS平台首发出货
发布时间:2023-08-15  来源:徐州市铜山区人民政府  发布开发区:徐州高新技术产业开发区

  8月8日下午,普达特半导体设备OCTOPUS平台首发出货,为半导体设备产业国产化发展再添浓墨重彩一笔。

  徐州市副市长、铜山区委书记、徐州高新区党工委书记龚维芳,铜山区委常委、徐州高新区管委会常务副主任戴雷,普达特科技有限公司董事长、首席执行官刘二壮等出席有关仪式,并共同启动普达特半导体设备OCTOPUS平台首发出货。

  普达特半导体设备(徐州)有限公司坐落在徐州高新区,总占地面积30000平方米,主要生产应用于半导体晶圆制造全流程的高端单片机清洗设备与化学沉积工艺设备,太阳能电池片制造流程中的各类湿法化学工艺的槽式及链式设备,以及业内首创的双层链式机平台。2022年5月,生产基地正式投产,同年6月,首台湿法设备出货,拥有完全自主知识产权的半导体高端单片清洗机CUBE系列已经获得头部芯片制造企业订单。

  普达特OCTOPUS平台标配16个腔体,腔体和化学药液供应系统采用同垂直面阵列布局,在腔体颗粒度控制、晶圆工艺技术指标、降低金属残余等方面达到了国外同类产品水平。

  普达特科技有限公司表示,下一步,将持续以技术创新为核心源动力,以“技术迭代加产业拓展”双核创新驱动引领高质量发展,打造平台化高技术壁垒全产品线核心设备供应商,在推动行业进步方面发挥更大作用。

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