“进度良好，在手订单多，产能满载。”东方晶源微电子科技(北京)有限公司董事长俞宗强向记者介绍道，“今年是东方晶源产业化突飞猛进的一年，预计全年销售额将有大幅增长。”

　　不久前，继自主研发的首台8英寸关键尺寸量测装备（CD-SEM）出机交付，东方晶源又迎来了两款电子束量检测设备的批量交付，以及两款新产品的发布。

　　“今年以来，东方晶源喜讯连连，发展驶入快车道。”俞宗强表示，3月，8英寸CD-SEM出机并交付国内知名集成电路制造和整体方案提供商燕东微电子，这是继2021年6月首台12英寸CD-SEM出机之后，取得的又一重大进展。

　　“目前市场上流通的8英寸CD-SEM绝大多数是二手翻新设备，存在功能设计陈旧、维护保养困难等问题。”俞宗强说，东方晶源洞悉到晶圆代工厂这一痛点，充分发挥在电子束检测、量测领域的技术优势，快速推出8英寸关键尺寸量测设备，成功解决产业又一难题，进一步夯实了东方晶源在国内电子束检测、量测市场的领先地位。

　　该设备出机两个月后，东方晶源电子束检测（EBI）和关键尺寸量测（CD-SEM）两台设备顺利交付国内头部客户。“东方晶源两款电子束检测、量测设备出机，是国内相关领域零的突破，此次量产交付意味着产品成熟度的提升以及客户的高度认可，从而进一步带动更多的客户和订单。”俞宗强说。

　　在一款又一款设备出机、量产交付之后，企业研发也跑出了加速度。7月初，东方晶源电子束缺陷复检设备SEpA-r600及良率管理系统YieldBook两款新产品“诞生”。SE-pA-r600实现了对集成电路制造过程中的缺陷看得清、找得准。此外，良率管理软件YieldBookV1.0版本已经上线，打通了集成电路制造上下游数据分析环节，为集成电路制造厂商提供系统化的良率解决方案。

　　“东方晶源的发展得益于经开区严格落实疫情防控工作，最大限度协助企业做好防疫工作，降低了疫情对生产的影响。”俞宗强表示，疫情期间，北京经开区迅速落地房租减免等助企纾困政策，也为企业发展注入了活力。

　　对于北京经开区“精准滴灌”的政策环境，赛莱克斯微系统科技（北京）有限公司董事长杨云春也感同身受。

　　基于自主工艺技术，企业的8英寸MEMS芯片生产线在2021年6月成功实现量产。“自去年6月以来，我们生产的硅麦克风等各类MEMS产品陆续开发成功，完成验证或实现量产，作为一条新建的本土半导体制造产线，非常不容易！”杨云春表示，这离不开北京海关所属亦庄海关根据芯片产业进出口产品结构特点和通关特殊要求，打造的“减免税便捷审批、进口通关分送集报、税款缴纳汇总征税、属地查检全时全域、稽核查智慧监管、AEO认证全程辅导”的六位一体“芯”模式。

　　在海关“芯”模式的助力下，赛莱克斯顺利完成了数百台设备及近万件材料的进口、安装和调试工作，这让8英寸MEMS芯片生产线得以在短时间内实现首款产品的批量生产。新产线的建成，让企业拥有了月均1万片的MEMS芯片生产能力，且正在建设第二阶段月均2万片的新增产能，一举成为国内最大、全球领先的8英寸纯MEMS芯片的工艺开发及晶圆制造项目，开辟了本土上下游完整产业链的发展新通道。

　　不仅仅是政策支撑，北京经开区新一代信息技术产业环境也是企业蓬勃发展的动力源。“我们对面就是燕东微电子，区内还有京东方、中芯国际、北方华创等各领域龙头企业，有着非常完善的新一代信息技术产业链。”杨云春介绍道，几个月前受疫情影响，部分设备到位时间稍晚，我们区内的“兄弟企业”就伸出了援助之手，积极沟通、相互合作。今年6月，赛莱克斯基于自主专利及工艺技术所制造的BAW滤波器完成工艺开发并通过产品验证。目前，该产品已与客户签署生产订单，8英寸MEMS芯片生产线已经启动首批BAW滤波器8英寸晶圆的小批量试生产。

　　东方晶源、赛莱克斯的节节拔高只是北京经开区新一代信息技术产业发展的一个缩影。在北京经开区，集聚了一批芯片制造、集成电路等新一代信息技术产业龙头企业。为了支持产业发展，北京经开区通过政策支撑、管家式服务，以龙头企业为牵引，又聚集起了众多上下游产业链企业，形成了良好的产业生态。“链式发展”引发产业“聚变效应”，去年，北京经开区新一代信息技术产业全年产值首次超1000亿元。

　　今年1月到4月，电子信息产业产值达到了405.5亿元，同比增加了11.8%。

　　■释义

　　CD-SEM：关键尺寸量测装备，通过对电子束显微图像进行关键尺寸量测，实现关键工艺参数的监控，是芯片制造过程中质量控制的关键设备。

　　EBI：电子束检测，用于半导体元件的缺陷检测。集成电路前道检测设备的种类很多，从技术原理上主要有光学检测和电子束检测。随着工艺制程不断向前推进，光学检测的分辨率达到极限，漏检率在上升。电子束成像的图像检测比光学检测图形成像具有更高的分辨率，因而在先进制程中电子束检测将发挥更大的作用。

　　电子束缺陷复检设备（DefectRe-viewSEM，简称DR-SEM）：一款基于超高分辨率电子束成像技术对集成电路制造过程中的缺陷进行复检的设备。SEpA-r600是东方晶源第一代DR-SEM产品。

　　良率管理系统(YieldManage-mentSystem，简称YMS)：一种在集成电路制造领域用来对良率相关数据进行整合和分析的工业软件产品。东方晶源YieldBook采用新型高效的架构技术、分布式数据库、模块化的前端界面，在易用性、功能性、独特性等方面独树一帜。

　　MEMS：微机电系统，MEMS芯片简而言之，就是用半导体技术在硅片上制造电子机械系统，这个机械系统可以把外界的物理、化学信号转换成电信号，最常用的是承担传感功能，在整个大的信息系统里有点类似于人的感官系统。

　　BAW滤波器：带谐振腔体声波滤波器，滤波器可以对电源线中特定频率的频点或该频点以外的频率进行有效滤除。