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半导体材料装备国产化扛旗人
发布时间:2020-06-03  来源:上虞新闻网  发布开发区:杭州湾上虞经济技术开发区

  成立14年多的晶盛机电很像一个充满朝气的少年。在继今年年初交出一份优异的复工复产答卷后,晶盛依然保持着蓬勃的姿态,一边是产业园二期建设的高效推进,一边则迎来了公司成立以来的最大一笔全自动晶体生长炉和晶体智能化加工设备订单,金额总计逾14亿元。站在“少年”晶盛背后的,是一位“不惑少年”——曹建伟。

  在晶盛,曹建伟人称“曹博”,这位从学生时代就与导师一起创业的浙大工科博士,尽管已过不惑之年,但学生时代的简单务实和志存高远,在他身上仍清晰可见。

  2006年初冬,当时还在读博的曹建伟和浙大机械电子工程专业的20余位师生租下了位于汤浦达郭的一幢白色三层小厂房。他们意气风发,决心要干一件大事:打破国外技术垄断,实现全自动单晶硅生长炉的国产化。曹建伟主要负责核心的软件控制研发。这也是推动单晶炉从半自动跨越至全自动的关键。历经曲折,半年后,国内首台自主研制的全自动80A型单晶硅生长炉由此诞生。

  持续创新,才能永葆产品青春。在首台全自动单晶炉实现多项国内首创技术之后,晶盛将创新触角全面深入半导体材料装备领域,曹建伟也始终亲自抓研发,在国内率先开发出半导体材料“生长、切片、抛光、外延”四大核心装备,实现了国产替代,并在高端市场占有率第一,逐步实现8-12英寸大硅片生长和加工设备自主可控。

  打造半导体材料装备领先企业,发展绿色智能高科技制造产业。企业越成长,曹建伟的目标也越清晰。近年来,他带领研发团队在夯实单晶生长炉高端市场基础上,先后开发出金刚线半导体截断机、精密切割机、晶片边抛机、晶圆抛光机、双面晶片研磨机等半导体智能加工设备,不断延长产业链。

  曹建伟说,国内很多企业制造生产能力都很强,短板往往在自我创新的不断突破上。有时即使明知是“烧钱”之举,他也照样迎头而上。这些年,晶盛坚持投资高端坩埚,顶着连续亏损2年多的压力,最终成功研发32英寸半导体石英砂坩埚,再次达到技术国内领先,实现进口替代。同时,投资筹建半导体精密加工、表面处理等工艺,牢牢把核心精密零部件加工技术掌握在自己手里。

  晶盛从科研起家开路,也必靠科研发展壮大。曹建伟说,这条路子不会变。如今,在晶盛2000余位员工当中,研发人员就有500余人。他们分布在3个国内研发中心,1个海外研发中心,以及工业4.0方向的省级重点研究院、省级晶体装备研究院、博士后工作站等研究平台。

  作为回报,截至2019年末,公司已获得国家有效专利387项,其中发明专利55项,国家软件着作权119项,主营产品全自动单晶硅生长炉被评为第三批国家制造业单项冠军产品,公司连续多年被评为半导体设备十强单位、创业板最具成长性上市公司十强。

  展望未来,曹建伟也早已谋划,即锚定半导体、光伏、LED照明、工业4.0领域,不断攻占国内外高端市场。他称,这里面临着巨大的新机会,同样也面临着巨大的新挑战,能留下的必须是有着顽强的竞争力。

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