10家上海市重点实验室近日在民营企业挂牌,这是上海市重点实验室首次花落民企。上海新阳半导体材料股份有限公司作为10家企业之一,获评“上海市集成电路关键工艺材料重点实验室”。
民营企业是极富活力的创新主体。然而,市级重点实验室这块金字招牌对上海民企来说,有点“可望不可及”,因为即使是行业龙头民企,它们与高校、科研院所、大型国企竞争市级重点实验室时,也存在竞争力偏弱的问题。为此,市科委去年改革了市级重点实验室评审制度,将民企从高校、科研院所、企业中单列出来,重点面向集成电路、生物医药、人工智能三大领域的创新发展需求,对申报市级重点实验室的民企进行评审。最终,包括上海新阳在内的10家企业脱颖而出,成为市级重点实验室的依托建设单位。
“这是新阳的荣光,也让我们倍感责任重大。”上海新阳半导体材料股份有限公司董事长王福祥欣喜地说。他介绍,上海新阳半导体材料股份有限公司创立二十年来,始终坚持自主研发,不断攀登一座又一座技术高峰,掌握了电子电镀和电子清洗两大核心技术。此次建设的上海市集成电路关键工艺材料重点实验室,将面向集成电路产业未来发展,开发包括大马士革工艺互连材料、光刻胶材料、蚀刻后清洗材料等在内的关键工艺材料,研究集成电路光刻、互连、湿法等关键工艺。“相信将为我国集成电路产业的发展作出贡献,也将为我国5G、人工智能等产业的发展提供强有力的支撑。”《上海市重点实验室建设与运行管理办法》指出,企业类重点实验室的主要任务,是开展应用基础研究和共性技术研发,研究制定国际标准、国家和行业标准,聚集和培养优秀人才,促进产学研结合。王福祥表示,新阳将努力完成重点实验室的各项建设任务,充分发挥重点实验室作用,在民营企业科技创新征程上再创佳绩,并在此带动下,把公司建设成中国、全球集成电路关键工艺材料领域的“隐形冠军”,为我国集成电路产业的发展贡献力量。