近日,浙江省科技厅公布了2023年第二批全省重点实验室认定结果,宁波市共有5家单位入选,其中,西工大宁波研究院牵头申报的“全省高性能MEMS芯片规模制造技术重点实验室”位列其中,这是高新区唯一入选的全省重点实验室。
这个实验室将开展哪些研究?解决什么难题?
据了解,实验室将重点发挥团队在MEMS制造领域30余年的技术积累,面向智能微系统技术的世界科技发展前沿,围绕视觉检测类光学芯片、听觉检测类声学芯片等MEMS高端定制类芯片在规模化制造过程中的卡脖子技术难题,聚焦MEMS芯片制造过程中涉及的特种滤光器件制造工艺等“标准化”MEMS工艺方案,解决MEMS芯片共性关键制造技术难题,颠覆传统MEMS制造工艺非标冗杂的制造模式,突破高性能MEMS芯片制造技术壁垒。
通俗地讲,实验室主要是研究MEMS(微机电系统)智能传感芯片的。跟传统传感器不一样的是,这类芯片可实现视觉、听觉、嗅觉、味觉等多个感知功能,并可用于大规模智能制造,同时成本又非常低。比如,它的视觉功能,就相当于我们的眼睛,可以实时诊断疾病和检测有毒有害化学物质。
“传统的芯片是做大脑,MEMS芯片是做五官,它是一种微机械结构,是构建智能微系统的架构。”西工大宁波研究院智能传感芯片技术研究中心责任教授虞益挺表示,因为集成电路行业起源于发达国家,很多传感器是被国外垄断的,实验室将面向航天航空、重大装备的研制和智能化去开发高性能传感器芯片。宁波研究院的研究方向主要是视觉,将针对智能工厂在加工生产过程的品控问题完成检测任务。“我们已经跟宁波市眼科医院开展合作,将利用这一技术给医疗器械装上‘眼睛’,帮助疾病诊断。”
西北工业大学宁波研究院成立于2019年9月,是浙江省首批高水平新型研发机构。宁波研究院牵头获批工信部产业技术基础公共服务平台、浙江省柔性电子重点实验室、卫星与大数据应用浙江省工程研究中心、OLED关键材料与器件浙江省工程研究中心等10余个省部级创新平台,上榜2022“科创中国”融通创新组织榜单。