如今，正处于智能化变革的关键时期，智能传感器赋能数字时代更多的可能，传感器产业生态体系的建设需要产业技术平台和政策的支撑和引领。近日，由上海智能传感器产业园主办，中国传感器与物联网产业联盟承办的MEMS及先进传感器技术论坛在嘉定举行。上海嘉定工业区开发（集团）有限公司副总经理、上海智能传感器产业园总经理许利萍，致欢迎词并表示，上海智能传感器产业园是上海首批特色产业园之一，也是上海市集成电路产业“一体两翼”布局中 “北翼”的重心所在。产业园聚焦传感器及其应用，通过政策扶植、平台服务和生态构建帮助落户企业突破核心芯片、元器件、软件、智能仪器仪表等基础技术来弥补智能传感器“中国芯”短板。在现场演讲中，主题围绕MEMS芯片的大规模制造和特色工艺平台建设、传感器在半导体设备中的技术应用、智能微流控、湿法工艺等技术、设备、应用等角度介绍在全球“缺芯”的大背景下，MEMS及先进传感器所面临的挑战和机遇。随后的圆桌对话环节，从目前我国MEMS产业发展趋势、市场驱动力和应用布局展开。

　　PZT薄膜压电MEMS技术是智能传感器领域的重要发展方向，是充满技术多样性和产业机会的蓝海领域。在论坛的专场上，从PZT薄膜压电MEMS工艺平台的建设、压电陶瓷材料、PZT压电薄膜量产制造技术等技术原理、应用趋势、设备制造都作了详细介绍。

　　据了解，PZT是行业新兴技术方向，覆盖面广、颠覆性强、发展潜力巨大，是极大规模的“蓝海”市场。其中，薄膜化技术可实现可控性、可量产、供应链健全。可在传感器、执行器兼用。同时，可应用在智能手机、语音交互、汽车工业、医疗保健、AR/VR等方方面面。

　　据了解，近日，国内首台8英寸PZT压电薄膜设备落户上海智能传感器产业园超越摩尔研发中试线，打造基于压电材料的MEMS先进工艺平台。平台将由国家智能传感器创新中心（简称“创新中心”）和上海微技术工业研究院共同建设，持续推进智能传感关键共性技术创新开发能力。

　　创新中心的量产型PZT压电薄膜沉积设备可以实现8英寸晶圆上单晶体PZT薄膜的高质量生长，成膜温度低（<500℃），可以满足CMOS传感控制电路与MEMS兼容集成制造需求，是与Bosch、Silex等国际主流传感器生产厂商保持同步的先进装备。新型压电MEMS光学、声学、惯性、微流控等产品，在自动驾驶、消费电子、光通信、医疗康养、工业控制等AIoT领域具有广泛而重要的应用前景。

　　本次入驻的PZT压电薄膜沉积设备来自ULVAC，以及来自Oxford Instrument的PZT 薄膜刻蚀设备。创新中心持续稳步推进包括设计、仿真、材料、加工、测试等环节的高端MEMS工艺平台能力建设，快速形成一系列相关特色技术模块和工艺能力，将与产业链上下游共同打造基于压电薄膜材料的MEMS新器件开发、新原理探索、新应用验证的技术平台，为国内外相关技术和产品开发提供平台支撑服务，也将为无铅压电材料的薄膜化以及在MEMS方向的应用探索和技术开发提供平台支持。

　　国家智能传感器创新中心拥有先进传感器测试服务平台和数据库，建设中的先进传感器工艺制造平台将为产业带来更多的“芯”机遇。未来上海智能传感器产业园将统筹各方力量，以智能传感器为核心，从关键技术节点出发，集聚覆盖全产业链的优质企业，共同探索MEMS及智能传感产业发展机遇。

　　现场，百余位政产学研领袖和专家齐聚嘉定，共议MEMS先进传感器技术创新和应用、先进封装制造与特色工艺，PZT压电薄膜MEMS的技术方向和产业应用，共同探讨MEMS技术趋势发展方向。