12英寸外延片下线 中欣晶圆成大硅片生产“全能选手”
发布时间:2021-01-06 来源:钱塘新区报 发布开发区:萧山临江高新技术产业开发区
近日,新区企业中欣晶圆大硅片生产车间顺利下线第一枚12英寸硅外延片。自此,中欣晶圆成为国内首家能独立完成从12英寸单晶、抛光到外延研发、生产的企业。
落地新区3年来,中欣晶圆相继实现了8英寸和12英寸硅抛光片的生产,填补了杭州半导体产业链的大硅片空白。那么,此次下线的12英寸硅外延片又有何不同,能够为新区乃至全国的半导体产业发展带来哪些利好?
“半导体硅抛光片是芯片制造的基础材料,外延片则是在抛光片的基础上新生长一层硅单晶层。”Ferrotec(中国)董事局主席兼总裁贺贤汉称,打个通俗的比方,抛光片就是“毛坯房”,外延片就是“精装房”,外延片更能适配一些高端芯片的制造。
据了解,随着新能源汽车、5G通信、物联网、智能手机等行业不断发展,国内芯片制造企业对于半导体硅外延片的需求出现井喷,但是国内能够生产优质半导体硅外延片的厂商屈指可数。
据贺贤汉介绍,硅外延片的生产流程更长,技术难度也更大。从2020年初,中欣晶圆就启动了12英寸硅外延片的试生产,期间克服国外技术人员因疫情等原因返程难、进口设备通关难等困境,耗资8.3亿元,最终在年末下线第一枚12英寸硅外延片,成为在大硅片生产领域的“全能型选手”。
“2019年中国半导体硅外延片市场规模为90.95亿元,2020年受新冠疫情影响,中国半导体硅外延片市场规模有所下降,但随着相关领域投资建设规模的扩大,中国半导体硅外延片市场需求将持续增长。”业内专家表示,国内企业布局12英寸半导体硅外延片的生产,既是紧盯市场变化的举措,也是延长企业生产链,提升产品附加值的必由之路。